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高温真空气氛管式炉

2022-04-24
27366次
高温真空气氛管式炉
详细介绍:

一.详细介绍      ZKGSL—150—1 真空管式高温炉以进口硅钼棒为发热元件,额定温度1700℃,采用B型双铂铑热电偶测温和日本“岛电”温控仪自动控温,具有较高的控温精度(±1℃)。此外该炉具有真空装置,可在多种气氛下工作,大大提高了其使用范围。该炉具有使用温度高、高精度控温、等优点。炉管材质采用优质耐高温的刚玉管,专门设计用于精密机械零件热处理、纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、化工材料、陶瓷电容器气氛烧结、真空烧结等。管式炉采用高铝纤维制品隔热、保温,优质刚玉管炉膛,日本进口单回路智能32段(40段)程序温度控制仪控制,PID参数自整定,精确实现温度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能环保、使用温度高、寿命长、发热件更换方便、操作简单、维修方便等特点,是理想的科研设备,其性能达到国外同类产品的标准。  二.技术指标:设备型号:GSL—150—1最高温度: 1700℃     工作温度: 1650℃加热区长度:300mm恒温区: 150 mm温度均匀性: ±1℃炉管实际尺寸:  Φ50(外径)×1000mm  (刚玉管)炉膛材料:  莫来石纤维制品控制温区个数:  1个,B分度热偶控温精度: ≦±1℃,单回路智能32段(40段)程序仪表控制,PID参数自整定加热元件:  优质硅碳棒加热最大加热功率:  6Kw        空炉保温功率:约3Kw建议升温速率:   3℃~10℃/min输入动力电源:  三相电源,50HZ ,380V±10%;6KW炉体表面温升:  ≤60℃。尺寸: 550 x 380 x 520 mm净重: 80 Kg保修期: 整机保修一年,相关耗材除外  三.标准配件: 

名称 型号 数量
 硅钼棒 U型棒6根
 不锈钢密封系统 随炉管尺寸配套 1套
S型单铂铑热电偶150mm1只
氧化铝刚玉管  客户可选φ40、φ50、φ60、φ70、φ100 1根
 管堵 随炉管尺寸配套 4只
不锈钢保护套 已安装与炉体上 1套
 硅胶密封圈 随炉管尺寸配套    6只
 耐温手套
 1副

 四.密封结构 (见气氛管式炉进出气管口结构图) 五.可选配件 (一).真空泵1.产品型号:GZK-103D       该系统由前级无油泵,后级分子泵,真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成,此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,以便在封闭容器中形成真空和压力,吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于机械、无油化工、制药、食品、制糖工业及电子领域。由于在工作过程中,气体的压缩是等温的,所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时,不易发生危险,所以其应用更加广泛。        另外该系统采用德国产分子泵作为主工作泵,采用德国的机械泵作为分子泵前级泵,机械泵内部已有有隔断放气装置为非标准系统,它主要由连接管道,110分子泵,机械泵构成,通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,全部电抛光处理。系统设计有预抽功能。2. 技术参数:   泵体积流量N2:331/S                                                                           压缩比:10:11                                                                                     最终压力:≤4.5×10-5mbar                                                                       功率消耗:140W                                                                                  启动时间:2min                                                                                         电源要求:90-132/185-265VAC                                                                  环境温度:5-32℃                                                                              空气相对湿度:≤85℃                                                                          工作电压:220V±10%                                                                         功率:1KW                                                                                     系统极限真空度:1.0×10-3Pa3.                                                                  外型尺寸:800×600×600mm4.                                                           主要配置:机械泵(德国产)                                                                      抽气速率:4L/S                                                                     电极功率:400W                                                                           极限压强:6×10-2Pa分子泵(德国产)                                                                                   抽气速率:100L/S                                                                     极限压强:6×10-6Pa                                                               启动时间:<2min                                                                 额定转速:4300转/分钟                                                              冷却方式:风冷/水冷分子泵控制电源(德国产)                                                                     工作电压:110-240V                                                                    输出功率:250W                                                                   加速时间:1min                                                                   输出频率:高速740HZ±10%  低速430HZ±10%真空传感器(德国产)                                                            工作电压:220V 50-60HZ                                                        电阻规阻值:约85Ω                                                            自动保护(电离):>10PaKF40高真空手动隔断阀                                                                    采用氟胶圈密封,快卸法兰接口漏率达5×10-9Pa.m3/s                                            连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1×10-9Pa.m3/s(二).产品名称:多路浮子控制供气系统1.主要特点:本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用,而不会造 成大气进入加热炉管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证2.工作原理:    由气体钢瓶输入两种气体,形成A,B两种组份,经过减压阀减压,输出所需流量的气体,再通过调节每一组分的体积流量,输出预定比例关系的混合气体,达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶(只能同时启用二个钢瓶),如:H2/AR,H2/N2,O2/N2等。严禁氢气和氧气同时供气保证安全!     将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上,其中之一是氢气专用连接头,选择连接好两种气体,按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮,再旋转减压阀旋钮增大气体压力,调节两种气体流量,输出所需要的压力和流量。     本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全可靠!本系统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。3.技术参数:   气路通道:多通道(可根据客户需求设计通道)   气路流量控制器: 采用浮子流量计控制   标准量程:10-100ml/min 、16-160ml/min、 25-250ml/min   接口:Φ6.35,1/4''    工作环境温度:5~45高纯气体                不锈钢管:Φ6(外)X Φ4   压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格    截止阀:Φ6.35   混气罐:Φ80×140mm (三).高纯氧化铝坩埚                                                                             提供高纯氧化铝坩埚,分舟型和桶型.                                                          纯度: Al2O3 > 99.5%;  Fe2O3 < 0.01%                                                密度: > 3.8 g/cm3                                                                             最高工作温度: 1750 oC or 3180 F


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